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[会议论文] 作者：李中洲;余隽;周君伟;耿万鑫;唐祯安;,
来源：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2016
用标准CMOS代工制造传感器可在低成本、高集成度、高良率等方面获益,但标准CMOS工艺固定不可修改,在传感器加工方面的适用性有待摸索.本文设计了四臂支撑悬空结构的微热板传...
[会议论文] 作者：梁家铭;余隽;吴佳蕊;李中洲;周君伟;唐祯安;,
来源：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2016
随着物联网的发展,大规模传感器部属已成为趋势.其中,气体传感器节点应具有功耗低、稳定性好以及网络化等特点.本文针对微热板低功耗和快速热响应的特点,结合物联网应用需求,...
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