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[会议论文] 作者：李以贵,宓晓宇,樊明新,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
提出了集成化光学干涉计构造方案,采用微细加工技术,实现了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成化光学干涉计.着重描述了超薄薄膜光电二极管的设计,制造和特性....
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