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[会议论文] 作者:张景贤,段于森,江东亮,陈忠明,刘学建,黄政仁,扬建,李晓云,丘泰,
来源:全国电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十六届会议暨真空电子与专用金属材料分会2016年年会 年份:2016
采用高纯Si粉作为起始原料,通过流延成型、氮化和气压烧结工艺制备高导热氮化硅陶瓷基片.通过优化分散剂、粘结剂和塑性剂的含量以及流延工艺过程,制备出厚度可控的Si膜.进一...
[会议论文] 作者:刘学建,陈忠明,张景贤,黄政仁,江东亮,段于森,扬建,丘泰,李晓云,
来源:全国电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十六届会议暨真空电子与专用金属材料分会2016年年会 年份:2016
采用高纯Si粉作为起始原料,通过流延成型、氮化和气压烧结工艺制备高导热氮化硅陶瓷基片.通过优化分散剂、粘结剂和塑性剂的含量以及流延工艺过程,制备出厚度可控的Si膜.进......
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