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[会议论文] 作者：张青雅,董文慧,王天顺,陈俊康,刘建设,李铁夫,周幸祥,陈炜,
来源：第十二届全国超导学术研讨会 年份：2013
本文报道了用于超导TES (Transition Edge Sensor)测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备和超导特性表征.采用射频磁控溅射的方法,在不同溅射功率和反应氩压下沉积了厚度为50nm的Al薄膜,利用原子力显微镜(AFM)分析得到最优表面粗糙度的沉积条件.......
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