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[会议论文] 作者:徐壵,陈玲燕,王占山,徐敬,张众,王洪昌,朱京涛,王风丽,王蓓,秦树基,
来源:2007中德双边高级专家X射线光学研讨会 年份:2007
介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法.由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子...
[会议论文] 作者:徐达;秦树基;陈玲燕;朱京涛;张众;王风丽;王晓强;王洪昌;蒋励;佘仕凤;王占山;,
来源:2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会 年份:2007
为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最......
[会议论文] 作者:朱京涛,孙丽娟,周洪军,霍同林,王占山,王洪昌,张众,王风丽,秦树基,陈玲燕,崔明启,赵屹东,
来源:2007中德双边高级专家X射线光学研讨会 年份:2007
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制...
[会议论文] 作者:朱京涛[1]孙丽娟[2]周洪军[3]霍同林[3]王占山[1]王洪昌[1]张众[1]王风丽[1]秦树基[1]陈玲燕[1]崔明启[2]赵屹东[2],
来源:2007中德双边高级专家X射线光学研讨会 年份:2007
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制...
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