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[会议论文] 作者：王逊,张云峰,唐镇松,
来源：2009北京真空学会真空技术交流会 年份：2009
本文阐述了DL-10型石英真空计的研制结果，它用φ2X6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10Pa-105Pa，误差约10[％]。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压...
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