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[会议论文] 作者：耿振亚,沈毅,李慕华,
来源：第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2012
采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效应.在敏感芯片硅微结构设计中,弹性梁的MEMS...
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