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[会议论文] 作者：阴生毅,陈光华,荣延栋,朱秀红,
来源：第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议 年份：2004
a-Si:H薄膜在加装了一圈环状热丝的WMECR-CVD系统中,通过等离子体分解SiH进行生长.与生长时无热丝辅助相比,在热丝辅助下高速生长的a-Si:H薄膜呈现出较高的光敏性(光电导/暗电导)、较低的键合氢含量.分析表明,热丝对等离子体的热辐射对a-Si:H薄膜性能的改善起了......
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