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[会议论文] 作者：丁宇洁,赵永蓬,
来源：黑龙江、江苏、山东、河南、江西五省光学(激光)联合学术2013年会 年份：2013
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[会议论文] 作者：赵永蓬,王骐,刘金成,
来源：2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 年份：2003
建立了电子束抽运下,Ar离子准分子的反应动力学模型.给出了与电子束能量沉积和Ar离子准分子形成有关的反应过程.建立了反应速率方程组,并对该方程组进行了数值求解,得到了Ar...
[会议论文] 作者：赵永蓬,王骐,刘金成,
来源：2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 年份：2003
建立了电子束抽运下,Ar离子准分子的反应动力学模型.给出了与电子束能量沉积和Ar离子准分子形成有关的反应过程.建立了反应速率方程组,并对该方程组进行了数值求解,得到了Ar离子准分子的粒子数密度随时间的演变情况.根据粒子数密度的计算结果,求解了小信号增益......
[会议论文] 作者：徐强;赵永蓬;刘洋;王骐;,
来源：鲁豫赣黑苏五省光学(激光)学会2011年学术年会 年份：2011
基于Xe气介质毛细管放电极紫外光刻光源装置获得了10nm～18nm范围内Xe8+～Xe11+离子4dn～(4dn-15p+4dn-14f+4p54dn+1)跃迁辐射光输出.利用罗兰圆谱仪测量光谱,在放电电流为33kA...
[会议论文] 作者：赵永蓬;王骐;李岩;刘金成;,
来源：第十七届全国激光学术会议 年份：2005
利用强流相对论电子束装置,观察到了中心位于240nm的氩第三谱带,并利用光电倍增管测量了240nm的光强随时间的演变情况.实验结果表明240nm时间谱的宽度大于电子束的电流脉冲宽...
[会议论文] 作者：赵永蓬;徐强;刘阳;李琦;王骐;,
来源：第二十届全国激光学术会议 年份：2012
目前,人们广泛研究使用13.5nm(2％带宽)辐射光的极紫外光刻技术(EUVL)以用于22nm或更窄刻线的光刻处理中.本文基于Al2O3材料毛细管放电Z箍缩技术,获得Xe介质高温高密度离子...
[会议论文] 作者：杨大为,赵永蓬,王骐,于俊华,
来源：2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会 年份：2006
利用脉冲功率技术能够在很短的时间内将很大能量注入负载，因此在需要高功率泵浦的激光研究方面有重要的应用. 本文介绍了脉冲功率技术在离子准分子、准分子和软X射线激光研...
[会议论文] 作者：王骐,赵永蓬,徐强,李小强,李琦,
来源：第二十届全国激光学术会议 年份：2012
极紫外光刻是以13.5 nm极紫外自发辐射为光源的下一代光刻技术.目前产生极紫外光源主要采用放电等离子体和激光等离子体两种方案.本文介绍了通过毛细管放电Z箍缩技术，产生高温高密度的Xe等离子体，利用Xe10+离子4d75p-4d8能级跃迁获得13.5 nm辐射.在介绍重复频率10......
[会议论文] 作者：栾伯晗,赵永蓬,程元丽,李岩,王骐,
来源：第十七届全国激光学术会议 年份：2005
对毛细管放电产生类氖氩46.9nm激光进行了实验研究,发现毛细管放电装置中布鲁姆林传输线所产生的固有预脉冲对软X光激光的产生及稳定输出都有十分不利的影响.在理论上,用雪耙模型计算并证明了固有预脉冲对毛细管均匀预电离的破坏作用,而在主电流脉冲到来之前能......
[会议论文] 作者：赵永蓬,王骐,程元丽,栾伯晗,吴寅初,
来源：第八届全国激光科学技术青年学术交流会 年份：2005
利用X射线二极管(XRD),实验上测量了毛细管放电激励下类氖氩46.9nm软X光激光的尖峰信号.在此基础上,改变主脉冲电流波形,观察了电流波形的幅值和上升沿对激光产生时间的影响....
[会议论文] 作者：栾伯晗,赵永蓬,王骐,吴寅初,程元丽,
来源：2005全国博士生学术论坛——光学工程 年份：2005
本文研究了毛细管放电装置中布鲁姆林(Blumlein)传输线所产生的固有预脉冲对产生软X光激光的影响。提出了用外加隔离开关和隔离电容的方法消除固有预脉冲。经过实验验证，...
[会议论文] 作者：吴寅初,栾伯晗,赵永蓬,程元丽,王骐,
来源：2004年全国强场激光物理会议 年份：2004
利用X射线二极管(XRD),实验上测量了毛细管放电激励下类氖氩46.9nm软X光激光的尖峰信号。改变主脉冲电流的上升沿,我们观察了上升沿对激光尖峰信号的影响。我们定义主脉冲放电电流起始点到激光尖峰出现的时间间隔为激光产生时间。实验结果表明,激光产生时间约为......
[会议论文] 作者：赵永蓬,王骐,程元丽,栾伯晗,吴寅初,
来源：2004年全国强场激光物理会议 年份：2004
利用X射线二极管(XRD),在两台装置上测量了毛细管放电激励下类氖氩46.9nm软X光激光的尖峰信号。改变气压和主脉冲电流的上升沿,观察了激光尖峰信号随实验参数的变化情况。我们定义主脉冲放电电流起始点到激光尖峰出现的时间间隔为激光产生时间。实验结果表明,激......
[会议论文] 作者：赵永蓬,吴寒,谢耀,姜杉,崔怀愈,王骐,
来源：第二十届全国激光学术会议 年份：2012
采用毛细管放电方式获得了类氖氩46.9 nm软X射线激光脉冲.激光脉冲光强空间分布的研究是开展软X射线激光应用的重要参数.同时对空间分布的研究可以反映增益分布、压缩半径、轴心密度等等离子体各项参数,是了解产生激光脉冲条件的重要部分.本文实验上报道了采用......
[会议论文] 作者：闫仁鹏,于欣,陈飞,盖志强,赵永蓬,于俊华,
来源：五省一市光学学会联合年会暨十三省市光学学会联合年会 年份：2008
本文设计了一套高光效微波硫灯系统,并研究和优化了其启动和发光性能。通过采用多路调节和监测技术,并对传输波导和谐振腔进行了改进,有效提高微波与放电等离子体的能量耦合...
[会议论文] 作者：程元丽,赵永蓬,肖亦凡,夏元钦,陈建新,王骐,
来源：2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 年份：2003
本文用150fs掺钛蓝宝石激光系统,在功率密度为5×10W/cm时激励氪团簇,观察到4~40nm波段氪的软X射线谱,在10nm~13nm波段观测到很强的辐射,并观察到氪的13和14价离子谱线.在光场感应电离中,功率密度至少要达到8×10W/cm才能获得氪的14价离子,说明团簇的形成大幅度......
[会议论文] 作者：赵永蓬[1]吴寒[1]谢耀[2]姜杉[1]崔怀愈[1]王骐[1],
来源：第二十届全国激光学术会议 年份：2012
采用毛细管放电方式获得了类氖氩46.9 nm软X射线激光脉冲.激光脉冲光强空间分布的研究是开展软X射线激光应用的重要参数.同时对空间分布的研究可以反映增益分布、压缩半...
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