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[会议论文] 作者：刘小强,郝俊英,刘维民,林修洲,
来源：第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会 年份：2015
通过射频磁控溅射在单晶硅表面沉积了Si-Al共掺杂的,由聚合物网状与类富勒烯共同构成的双重纳米结构类聚合物非晶碳薄膜(PL-C∶H).利用拉曼及红外光谱对薄膜进行了化学键结构方面的表征.拉曼光谱结果表明：薄膜具有较强的荧光背景,具有典型的类聚合物非晶碳的拉曼......
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