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[会议论文] 作者：田延岭[1]张大卫[1]闫兵[2],
来源：2012年LMS中国用户大会 年份：2012
研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨 率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大...
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