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[会议论文] 作者：肖凤艳,张宗波,曾凡,梅雪凝,罗永明,徐彩虹,
来源：第十七届全国高技术陶瓷学术年会摘要集 年份：2012
＜正＞本文以全氢聚硅氮烷（PHPS）为先驱体,以Si片为基底,采用旋涂法结合氨水固化工艺制备了SiOx涂层。利用扫描电镜（SEM）、紫外光谱仪和椭圆偏振仪、纳米压痕仪等对涂层的形貌与厚度、涂层的光学性能和力学性能进行了表征。研究了固化时间对涂层的组成与性能的影响。结......
[会议论文] 作者：肖凤艳[1]张宗波[2]曾凡[2]梅雪凝[2]罗永明[2]徐彩虹[2],
来源：第十七届全国高技术陶瓷学术年会 年份：2012
以全氢聚硅氮烷(PHPS)为先驱体,采用氨水转化法在Si片基底上制备了SiOx涂层.利用扫描电镜(SEM)、紫外光谱仪、椭圆偏振仪、纳米压痕仪等对涂层的形貌、厚度、光学性能和力学...
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