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[报纸论文] 作者:刘北平, 李晓良, 朱海波,,
来源:半导体学报 年份:2006
采用Cl2/He对GaN基片进行感应耦合等离子体刻蚀,并比较了相同条件下使用Cl2/He,Cl2/Ar对GaN基片进行刻蚀的优劣.实验中通过改变ICP功率、直流自偏压、气体总流量和气体组分等...
[报纸论文] 作者:曹文娟,
来源:辽宁日报 年份:2006
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[报纸论文] 作者:曹创威,
来源:运城日报 年份:2006
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[报纸论文] 作者:郭欣, 刘瑞春, 曹青, 魏红莲,,
来源:脑与神经疾病杂志 年份:2006
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[报纸论文] 作者:黄庭满, 万栋, 方烨, 杨烨, 曹滢, 陈茜, 梁龙, 曾亮亮,
来源:经济参考报 年份:2006
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