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[报纸论文] 作者：冯骥才, 罗杨, 张志学, 侯仰军, 安德明, 祝鹏程, 张宪达,
来源：中国艺术报 年份：2015
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[报纸论文] 作者：刘祖宏, 侯智, 吴代吾, 丁欣, 王轶南, 陈甫, 刘建辉, 金相秦,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2015
对薄膜晶体管(TFT)像素区域的非晶Si(a-Si)进行刻蚀是TFT-LCD行业的主要工艺之一,通常在电容耦合射频真空放电设备中采用Cl2和SF6作为刻蚀反应气体实现。为了保证刻蚀速率并...
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