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[报纸论文] 作者:刘北平, 李晓, 朱海波,, 来源:半导体学报 年份:2006
采用Cl2/He对GaN基片进行感应耦合等离子体刻蚀,并比较了相同条件下使用Cl2/He,Cl2/Ar对GaN基片进行刻蚀的优劣.实验中通过改变ICP功率、直流自偏压、气体总流量和气体组分等...
[报纸论文] 作者:李必红, 刘庆成, 邓居, 张志勇, 张丽娇, 刘艳阳,, 来源:东华理工学院学报 年份:2006
东胜地区是当前地浸砂岩型铀矿找矿的热点地区之一,该地区覆盖层较厚,适宜于开展攻深能力较强的氡及其子体方法,本文扼要介绍了210Po法测量原理、工作方法和应用效果。通过对...
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