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[报纸论文] 作者：刘北平, 李晓良, 朱海波,,
来源：半导体学报 年份：2006
采用Cl2/He对GaN基片进行感应耦合等离子体刻蚀,并比较了相同条件下使用Cl2/He,Cl2/Ar对GaN基片进行刻蚀的优劣.实验中通过改变ICP功率、直流自偏压、气体总流量和气体组分等...
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