• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
(111相关论文
    基于(111)硅的X轴微陀螺的研究
    微陀螺是近年来MEMS领域研究的一个热点，它由于体积小、重量轻、成本低等特点而受到广泛关注。其中，同为集成多轴惯性检测单元(IMU)......
    学位
    (111