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α-(Al相关论文

低温反应溅射沉积α-（Al，Cr）2O3膜

使用AlCr合金靶材在高功率脉冲磁控溅射系统中低温反应溅射沉积氧化物薄膜，并与使用纯Al靶反应溅射的薄膜对比。用纳米压痕仪测量薄......

期刊

材料表面与界面氧化物薄膜 α-(Al Cr)2O3 高功率脉冲磁控溅射 A1Cr合金靶纳米压痕 surface and interface in the m

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