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α-CxNy:H1-x-y薄膜相关论文

α-CxNy：H1-x-y薄膜的制备和光学性能分析

采用外置式电容耦合低压等离子体化学气相沉积法,以高纯CH4/N2/H2作为反应气体,制备非晶α-CxNy：H1-x-y薄膜。研究了薄膜沉积速率和......

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外置式电容耦合低压等离子体化学气相沉积法 α-CxNy:H1-x-y薄膜沉积速率形貌光学特性 external capacitive coupling l

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