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非晶SiHxOy薄膜的强可见荧光
采用 PECVD方法制备了非晶 Si Hx Oy 薄膜 ,室温下观察到了性能稳定的强荧光发射现象 ,其中3 65nm、4 70 nm、73 0 nm三个带由分立......
期刊
α-SiHxOy
薄膜
荧光特性
杂质能级
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