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μ-synthesis鲁棒控制相关论文
基于非线性和柔性特性分析及补偿的直线电机精密运动控制
现代的机电系统,例如先进机床、微电子和半导体制造装备、光学检测系统和芯片传输系统,通常需要高速高精度的直线运动。而直接驱动......
学位
直线电机
精密运动控制
自适应鲁棒控制
非线性补偿
定位力
动态摩擦力
非线性电磁驱动力
高频柔性动力学
控制参数优化
μ-synthesis鲁棒控制
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