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三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
MEMS差分电容式加速度传感器,具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好,可通过静电恢复力工作在力平衡模式等优点,适用于石油勘探及地震监......
学位
MEMS加速度传感器
吸气剂
器件级真空封装
自停止腐蚀
三明治电容式
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