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三维微纳加工相关论文
基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质......
期刊
飞秒激光
三维微纳加工
脉冲前沿倾斜
光强平面倾斜
非线性光电离
非互逆直写
加工分辨率
材料加工
激光光学
非线性效应
三维微纳加工系统的设计及实验研究
具有微纳米尺度的结构和器件在微机械系统、传感、通信和医疗等领域得到了越来越多的应用。本文面向其加工与制造技术,设计了用于......
学位
三维微纳加工
探针进给系统
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压电陶瓷
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