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三维相变存储工艺相关论文
应变硅材料和三维相变存储工艺研究
随着微电子工业中器件特征尺寸的不断缩小和栅氧厚度的不断减薄,现有的体硅材料和工艺正接近它们的物理极限。应变Si因为它可以通过......
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半导体器件
应变硅薄膜
尺寸效应
三维相变存储工艺
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