中频交流磁控溅射相关论文
本文对提高超硬涂层的质量进行技术分析.采用真空镀膜新技术:孪生靶中频交流磁控溅射、偏压离子镀和离子源是沉积优质膜的基础.为......
为了提高TiO2薄膜的光催化效率,利用中频交流磁控溅射技术,采用Ti和Ag金属靶制备了Ag/TiO2复合薄膜。利用X射线光电子能谱、X射线......
为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响。利用分光光度计测......
研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜......
利用中频交流磁控溅射技术反应溅射Ti-Mo合金靶(Mo的摩尔分数为10%)制备了TiO2:MoO3复合薄膜,用XPS,XRD和SEM分析了复合薄膜的成分......
利用中频交流磁控溅射设备用金属Ti靶制备出了TiO2薄膜.用椭偏仪测试了TiO2薄膜的厚度和折射率,用俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、......
利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜, 利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌, 并利用多种降解对......
TiO2薄膜及TiO2复合薄膜在紫外光作用下可以实现有机物的光催化降解,在污染治理、室内空气净化、自清洁涂层等方面有着广阔的应用......
