中频磁控溅射可控阴极弧相关硕士博士期刊学术论文

分别采用中频磁控溅射、可控阴极弧及两者复合方式制备了四组TiN薄膜,采用朗缪尔探针对不同方式沉积环境等离子密度进行测试,并采......