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二探针扩展电阻分布法在IC芯片制造中的应用
论述了扩展电阻分布法的基本原理和具体操作方法,该法中两个精确排列的探针,沿着被测晶片的磨制斜面边移动,边测试,得出系列数据。......
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二探针
平式针尖无凹痕模型
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