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二次引铝相关论文

以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法

本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜.第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质;第二次引入......

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性价比多晶硅带衬底多晶硅薄膜等离子体化学气相沉积法二次引铝低温制备太阳能电池 silicon sheets from powder polycrys

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