亚稳态氧分子相关论文
在纯氧气体情况下,对射频放电产生O(a)进行了实验研究.射频频率是13.56MHz,额定功率500W,纯氧的放电压力133-266Pa,氧气流量7.44×......
在纯氧,及氧气和氩气的混合气体情况下,对射频放电产生O2(a1Δg)进行了实验研究.射频频率为13.56MHz,额定功率500W,放电压力133.0～3......
