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亚纳米精度相关论文
亚纳米精度光学表面离子束修形的基础研究
随着装备性能需求的不断提升,现代光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限,亚纳米精度表面制造将成为国家......
学位
亚纳米精度
离子束抛光
纳米微结构
超光滑表面
全频段误差
表面/亚表面损伤
组合抛光工艺
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