交叉轴干扰相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

交叉轴干扰相关论文

抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计

为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法.首先,介绍了双光栅加速......

期刊

加速度计纳米光栅交叉轴干扰结构设计工艺加工

田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真

介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀......

期刊

微加速度计 SOI 交叉轴干扰灵敏度

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