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为提高多层膜的激光-X光转换效率，以及辐射的均匀性和对称性，需要严格控制薄膜中的氧含量，并要求表面光洁、界面清晰、厚度一致性......
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采用射频磁控溅射设备在本征抛光Si（100）衬底上沉积Cr掺杂ZnO薄膜,分析不同掺杂浓度对薄膜的生长结构的影响.分别用XRD、SEM和XRF来......
