氮化硅平台阵列波导光栅(AWG)波分(解)复用器具有损耗低、集成度高、温度敏感性低等优势.基于联合微电子中心有限责任公司(CUMEC)......

研究了用减压法制备TiO2薄膜，并对其光催化活性进行了分析，通过实验证明锐钛矿结构的TiO2薄膜光催化活性明显要高于金红石型和无定形......

采用低压化学气相沉积（LPCVD）系统以高纯SiH4为气源,在p型10.16 cm〈100〉晶向单晶硅衬底SiO2层上制备纳米多晶硅薄膜,薄膜沉积温度......

MEMS(Micro Electric-Mechanical System)是具有战略意义的前沿高技术,是未来的主导产业之一。MEMS工艺处在整个MEMS设计的最底层,......

低压化学气相沉积法生长的B掺杂ZnO薄膜具有良好的光散射特性,可以用作硅基薄膜太阳能电池的前电极。以Zn(C2H5)2和H2O为前驱体,B2......