低能离子束刻蚀相关论文
在不同氪(Kr)离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr
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近年来,铌酸锂晶体因其优良的物理化学特性而迅速发展并被广泛应用,其性能及应用与畴结构关系较大,因此畴结构的加工和制备至关重......
针对蓝宝石有序纳米结构的制备,使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar＋离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石（C向）表面形成的自组织纳米结构......
纳米材料有着诸多的优良特性，随着科技的发展，各国对于纳米材料的研究更加深入，纳米材料的发展也更加迅猛。所以本文的核心技术就是可......
自组织纳米结构以其新颖的结构特点以及在纳米器件中的潜在用途成为当今纳米技术的研究热点.本文总结评述了国内外关于自组织纳米......
利用离子柬溅射诱导实验方法，在单晶Si（100）基底上辅助沉积银膜，研究了低能Ar＋离子束30。入射时，不同离子束能量和束流密度以及基底温度......
使用微波回旋共振离子源,研究Ar+离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明:所用能量800eV,1......
研究了低能Ar＋离子束对单晶硅表面的刻蚀效果.使用自制的冷阴极离子源,通过控制离子束的入射能量和刻蚀时间等因素,对单晶硅（100）表面......
低能离子束溅射/刻蚀固体表面形成自组织纳米微结构，是一种高效、简便、低成本制造大面积有序纳米结构的方法。该方法具有加工精度......
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