低能离子束轰击相关论文
材料的物理性能与表面结构和性质密切相关,引入缺陷的表面改性方式会对材料物理性能产生显著的影响。由于过渡金属氧化物具有结构......
研究了用能量为3.0keV~4.0 keV,束流为80mA~200mA的低能氮和氩离子束对Ti膜进行轰击的作用以及用低能氮离子束对真空电弧沉积Ti-N膜......