侧向场激励相关论文
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有谐振频率和质量灵敏度高,尺寸小及与CMOS工艺兼容等特点,这些特点使FBAR技术成为制备生物化学传感器的......
薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种新颖的基于压电效应的射频MEMS器件,因其具有谐振频率和质量灵敏度高,尺寸小以及与CMOS工艺兼容等特......
