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侧向溅射相关论文

气体离化团束溅射研究

研究了ＣＯ２，Ａｒ离化团束对不同金属系统对及ＳｉＯ２表面的溅射效应。离化团束的溅射产额比之单体离了束高１００倍以上。气体离化团束的高溅射产量额可能......

期刊

团束溅射产额剂量侧向溅射气体离化 Cluster Sputtering yield Dose Lateral sputtering Angular d

气体离化团束技术

由数个至数千个气体原子构成且被电离为单电荷的气体离化团束与表面相互作用产生新的效应、涉及新的机理并显示许多新的应用。例如......

期刊

气体离化团束侧向溅射浅层注入离子束

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