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修正的两步碳化工艺相关论文
Si基(100)取向3C-SiC单晶薄膜生长工艺技术研究
为了改善3C-SiC单晶薄膜结晶质连SiC单晶薄膜微观结构与碳化工艺是3C-SiC/Si异质外延研究的关键。研究了碳化工艺、3C-SiC薄膜外延......
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Si单晶衬底
3C-SiC单晶薄膜
修正的两步碳化工艺
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