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在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心......
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介绍了三坐标测量机与光学非接触测头组成的回转体零件表面自动测量系统,通过设计具有偏心调整机构的回转工作台和安装摄像机监测......