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XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究.在自截止腐蚀工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工......
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像传递函数
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Si刻蚀膜
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