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等离子体刻蚀的动力学模型及三维模拟
等离子体刻蚀技术被广泛应用于IC制造和MEMS加工中,是目前较为主流的刻蚀技术手段之一。开发等离子体刻蚀的模拟软件可以大大降低I......
学位
等离子体刻蚀
动力学模型
工艺模拟
元胞算法
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