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光子晶体加工相关论文

应用FIB技术直写SOI光子晶体的研究

采用聚焦离子束在硅绝缘体上制备圆孔光子晶体。光子晶体对孔壁的陡直度有相当高的要求。然而由于聚焦离子束的沉积作用,制备出来......

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光子晶体 FIB SOI 聚焦离子束硅绝缘体光子晶体加工刻蚀直度扫描路径绝缘体

FIB技术在硅基上刻蚀光子晶体的研究

光子晶体是一种新型的光波导材料,具有优良的导光性能。亚微米级光子晶体的加工对几何形状要求相当高。聚焦离子束在文中被用作直......

期刊

FIB 光子晶体刻蚀聚焦离子束光子晶体加工孔壁形状顶部轮廓直接写入亚微米级光刻技术

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