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碳纤维增强复合材料(Carbon Fiber Reinforced Plastics,CFRP)以其优异的性能,在航空航天等领域被广泛地应用,但是由于其抗冲击性......

叙述了用光学反射法在线监测ＬＳＩ等离子及反应离子刻蚀过程和终点的监测原理与具体实施，所设计的仪器获得了优于８０Ａ的动态监测精度及小于０．３ｃｍ＾２的......