采用双靶反应溅射制得ＳｎＯ２：Ｚｒ薄膜，并对它作了１５０℃下ＳＯ２气敏光特性试验，首次发现在适当工艺条件下制得的ＳｎＯ２：Ｚｒ薄膜在近红外波段（１．７￣３μｍ）对ＳＯ２气体具有明显的光学......