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光学表面轮廓仪相关论文
FCVA制备多层梯度类金刚石膜及其性能研究
类金刚石薄膜(DLC)由于易于制备,各种性能接近金刚石薄膜而被广泛研究应用,但由于类金刚石薄膜中存在较大的内应力而影响其进一步发......
学位
类金刚石薄膜
磁过滤真空阴极弧
光学表面轮廓仪
内应力
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