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光栅刻线弯曲误差相关论文
机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研究
随着科技的迅速发展,大面积且高质量的平面衍射光栅在各国军事、天文、核能、航天航空以及民用领域的需求越发迫切。机械刻划法是光......
学位
平面光栅
光栅刻线误差
光栅刻线弯曲误差
光栅刻线位置误差
光栅刻线摆角误差
衍射波前
光栅指标
快速傅里叶变换
机械修正法
光栅刻线摆角修正方法
大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正
衍射光栅是一种极为重要的色散元件,大面积高精度的平面衍射光栅在军事、天文、核能、航天航空及民用领域的应用十分广泛。衍射光......
学位
大光栅刻划机
刻划系统
光栅刻线弯曲误差
误差分析
机械修正方法
气浮导轨
双频激光干涉仪
杂散光
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