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光电器件介质膜相关论文
ECR Plasma CVD淀积光电器件介质膜的工艺模拟
以实验数据为基础,运用人工神经网络方法,建立了电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR Plasma CVD)淀积硅的氮、氧化物介质膜的折射率、速率与气......
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ECRPlasmaCVD
光电器件介质膜
工艺模拟
沉积
ECR plasmas CVD
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