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光刻照明系统光学设计与补偿策略研究
作为超大规模集成电路的核心制造装备,光刻机长期以来都是中国半导体产业的一块短板。近年来,在国家的大力支持和科技工作者的不懈......
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光刻照明系统
光学设计
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照明仿真
光瞳补偿
高均匀复杂光刻照明系统技术研究
光学投影光刻机的核心部件是投影曝光光学系统,该系统最重要的组成部分是照明系统和投影物镜系统。照明系统主要功能是为掩模面提供......
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