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光能量敏感度相关论文
光敏纳米SiO_2制备及在光致抗蚀材料中的应用
经溶胶-凝胶法制得纳米SiO2,用不同结构的双键硅烷偶联剂对其表面进行原位接枝改性,得到两种光敏纳米SiO2(M70SiO2和M50SiO2),并将其......
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光敏纳米SiO2
光致抗蚀材料
杂化
光能量敏感度
分辨率
photosensitivity nano-SiO2 photoresist materials h
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