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激光全掺杂制备太阳电池发射极的研究
采用波长532nm的激光脉冲在n型单晶硅衬底上扫描预置的硼源,进行太阳电池发射极制备的研究。通过全激光掺杂获得方块电阻最低为30Ω......
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